具有内置测试致动器的MEMS振梁加速度计
公开
摘要
本发明提供一种示例性系统，该示例性系统包括：微机电系统(MEMS)振梁加速度计(VBA)，该MEMS VBA包括：检验质量块；和第一谐振器，该第一谐振器机械地耦合至该检验质量块；第一电极，该第一电极被配置为向该检验质量块施加力。
基本信息
专利标题 ：
具有内置测试致动器的MEMS振梁加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594279A
申请号 ：
CN202111396152.4
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
约翰·赖因克
申请人 ：
霍尼韦尔国际公司
申请人地址 ：
美国北卡罗来纳州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
陈岚
优先权 ：
CN202111396152.4
主分类号 ：
G01P15/097
IPC分类号 ：
G01P15/097
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/097
采用振动元件
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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