微机械构件
公开
摘要
一种微机械构件(100)，其具有：‑覆盖元件(10)；‑布置在所述覆盖元件(10)的下方的腔体(20)；‑至少一个垂直蚀刻通道(11)，其布置在所述覆盖元件(10)的锚固结构之外；‑至少一个横向蚀刻通道(12a...12n)，其从所述至少一个垂直蚀刻通道(11)出发设置在蚀刻停止层(3)的下方和所述腔体(20)的下方并布置在所述蚀刻停止层(3)与硅衬底(1)之间；和‑至少一个通路蚀刻通道(3a1...3an)，其构造在所述至少一个横向蚀刻通道(12a...12n)与所述腔体(20)之间。
基本信息
专利标题 ：
微机械构件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114538365A
申请号 ：
CN202111413608.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
H·韦伯P·施莫尔格鲁贝尔T·弗里德里希
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭毅
优先权 ：
CN202111413608.3
主分类号 ：
B81B1/00
IPC分类号 ：
B81B1/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B1/00
不具有活动或柔性元件的装置，例如微毛细管装置
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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