微机械构件和用于微机械构件的制造方法
授权
摘要
本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
基本信息
专利标题 ：
微机械构件和用于微机械构件的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109799606A
申请号 ：
CN201811365018.6
公开（公告）日 ：
2019-05-24
申请日 ：
2018-11-16
授权号 ：
CN109799606B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
D·迈尔J·穆霍C·克普尔尼克H·格鲁特杰克R·施特劳布S·马克T·巴尔斯林科
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
侯鸣慧
优先权 ：
CN201811365018.6
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 H02K33/16 B81C1/00 B81B3/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-12-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/08
申请日 : 20181116
申请日 : 20181116
2019-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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