一种微型2.45GHzECR电子源及电子回旋共振电子源系...
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种微型2.45GHzECR电子源及电子回旋共振电子源系统，该微型2.45GHzECR电子源包括微波传输设备、微波窗、放电室、磁体和等离子体电极，其中微波窗由圆柱形Al2O3陶瓷与圆柱形氮化硼BN薄片沿轴向组合而成，其中Al2O3陶瓷柱靠近微波传输设备，而氮化硼BN片紧连放电室。本发明具有运行寿命长、稳定性高、金属污染低以及气耗低的优点。本发明微型2.45GHzECR电子源应用于中束流离子注入机的电子回旋共振电子源系统，实现了TE11单模传输，在去除较大体积的三螺钉调谐器的情况下实现了微波耦合，大大缩小了微波系统体积。
基本信息
专利标题 ：
一种微型2.45GHzECR电子源及电子回旋共振电子源系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334589A
申请号 ：
CN202111420870.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彭士香蒋耀湘马腾昊武文斌李凯崔步坚刘子荣
申请人 ：
北京大学
申请人地址 ：
北京市海淀区颐和园路5号
代理机构 ：
北京万象新悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾晓玲
优先权 ：
CN202111420870.0
主分类号 ：
H01J37/06
IPC分类号 ：
H01J37/06 H01J37/065
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/06
电子源；电子枪
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/06
申请日 : 20211126
申请日 : 20211126
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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