用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置，该装置包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽903，密封槽中设有密封圈，密封圈上固定有介质窗902，介质窗和法兰盘内壁之间设有固定橡胶圈901，介质窗上设有无磁托盘600，该无磁托盘与同轴波导内导体502之间通过扼流圈800连接。法兰盘与同轴波导通过螺纹连接，并与工艺室相连。本实用新型具有微波电场分布均匀、腔体加工尺寸大，拆卸维修方便的优点，可作为电子回旋共振等离子体设备的部件。

基本信息

专利标题：

用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720032542.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-21

授权号：

CN201114975Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴

申请人：

西安电子科技大学

申请人地址：

710071陕西省西安市太白南路2号

代理机构：

陕西电子工业专利中心

代理人：

王品华

优先权：

CN200720032542.2

主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H05H1/46