一种双结双面PERC电池及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种离子注入选择性扩散制备双结双面PERC电池的方法，其制备方法为：1、在P型硅片上进行高温磷扩散，此时硅片结构为N‑P‑N；2、单面去PSG；3、去PSG的一面使用离子注入进行大剂量硼扩散，此时硅片结构为N‑P‑N‑P；4、双面去PSG/BSG；5、双面进行富氢含氮钝化膜镀膜；6、双面印刷并烧结。因为硼在硅中的扩散系数比磷小，属于慢扩散，所以使用常规扩散炉高温扩散无法实现新的P型层的设计，必须使用离子注入进行大剂量硼烷注入。此N‑P‑N‑P双结双面电池设计相比常规的N‑P单结双面设计，其电压可以得到大幅提升，同时背面受光时，其光的转化率可以更高，提升电池片的电流，故电池片的效率得到大幅提升。
基本信息
专利标题 ：
一种双结双面PERC电池及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335225A
申请号 ：
CN202111438169.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杜欢吴兢薛超糜宇亮赵兴国
申请人 ：
江苏辉伦太阳能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口高新开发区星火路1号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202111438169.1
主分类号 ：
H01L31/0687
IPC分类号 ：
H01L31/0687 H01L31/068 H01L31/0352 H01L31/18
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0687
申请日 : 20211130
申请日 : 20211130
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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