一种放电离子化检测器
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种放电离子化检测器,包括:弧形电极组件、检测器主体和平行电极组件;检测器主体一端设有一放电室,另一端设有电离室,放电室的体积是电离室的体积的5倍以上,电离室的体积小于0.5毫升;弧形电极组件的电极位于放电室中;平行电极组件位于电离室中,且与外部的信号采集电路电性连接;检测器主体上还加工有进气孔Ⅰ、进气孔Ⅱ和排气孔11;进气孔Ⅰ与放电室4连通,通入放电气体;进气孔Ⅱ和排气孔均与电离室连通,进气孔Ⅱ用于通入样品气体,排气孔用于排出混合的放电气体和样品气体;本发明灵敏度高,可应用于精密制造、半导体、航天航空等领域的气体纯度和杂质含量检测,确保使用的高纯气体符合技术指标要求。

基本信息
专利标题 :
一种放电离子化检测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324707A
申请号 :
CN202111442632.X
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
卢仕兆卜芳任春波张迪沈兆欣郭力振
申请人 :
北京航天计量测试技术研究所
申请人地址 :
北京市丰台区南大红门路1号
代理机构 :
北京理工大学专利中心
代理人 :
杨潇
优先权 :
CN202111442632.X
主分类号 :
G01N30/64
IPC分类号 :
G01N30/64  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N30/00
利用吸附作用、吸收作用或类似现象,或者利用离子交换,例如色谱法将材料分离成各个组分,来测试或分析材料
G01N30/02
柱色谱法
G01N30/62
相应的专用检测器
G01N30/64
电检测器
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 30/64
申请日 : 20211130
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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