一种钽靶材金相组织的显示方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种钽靶材金相组织的显示方法，属于金相样品的制备技术领域。该方法通过合理的磨抛方法、腐蚀液配比和控制各阶段的时间，得到晶粒晶界清晰分明的金相组织的半导体钽靶材，通过光镜标尺设定可观察晶粒的大致尺寸及其均匀性，通过软件即可计算出钽靶材的晶粒尺寸和平均晶粒度。
基本信息
专利标题 ：
一种钽靶材金相组织的显示方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114509327A
申请号 ：
CN202111446198.2
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁跃跃童培云行卫东
申请人 ：
先导薄膜材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区龙子湖路与通淮南路交口西北角
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN202111446198.2
主分类号 ：
G01N1/32
IPC分类号 ：
G01N1/32 C23C14/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
G01N1/32
抛光；腐蚀
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/32
申请日 : 20211126
申请日 : 20211126
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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