一种多模式转换等离子体放电实验演示装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明属于等离子体放电领域,具体涉及一种多模式转换等离子体放电实验演示装置与方法。包括双极性脉冲电源、三台直流电源、上电极、中间电极、下电极、挡板、进气口、排气口、冷却水口、励磁调制线圈、石英玻璃腔室和不锈钢支架。通过调节电源参数、电极位置、腔压和电路类型,可实现辉光放电、电弧放电、空心阴极放电、磁控溅射等多种放电过程。本发明通过设计电极结构和电路类型,实现了多种放电模式在一定条件下的相互切换,满足实验演示、薄膜制备、材料处理等不同场合的需求,石英腔室还能完整展示出放电区域,该装置不仅能降低成本,还能够大大提高腔室空间利用率。

基本信息
专利标题 :
一种多模式转换等离子体放电实验演示装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114360341A
申请号 :
CN202111463545.2
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈良贤夏天李成明郑宇亭邵思武刘金龙魏俊俊
申请人 :
北京科技大学
申请人地址 :
北京市海淀区学院路30号
代理机构 :
北京市广友专利事务所有限责任公司
代理人 :
张仲波
优先权 :
CN202111463545.2
主分类号 :
G09B23/18
IPC分类号 :
G09B23/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G09
教育;密码术;显示;广告;印鉴
G09B
教育或演示用具;用于教学或与盲人、聋人或哑人通信的用具;模型;天象仪;地球仪;地图;图表
G09B23/00
科学、医学或数学用的模型,例如用于演示的具有真实尺寸的装置
G09B23/06
物理学的
G09B23/18
电学或磁学的
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G09B 23/18
申请日 : 20211202
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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