激光诱导等离子体光谱的脉冲激光自动对焦装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种用于激光诱导等离子体光谱的脉冲激光自动对焦装置及方法,装置中,聚焦透镜间隔第二二向色镜设置以接收来自第二二向色镜的脉冲激光和连续可见激光,聚焦透镜支承且经由驱动装置调节处于不同透镜位置,靶材间隔聚焦透镜以接收来自聚焦透镜的脉冲激光和连续可见激光,连续可见激光在靶材上形成聚焦光斑,成像设备朝向第二二向色镜以采集聚焦透镜在不同透镜位置处的聚焦光斑图像,靶材、聚焦透镜、第二二向色镜和成像设备构成聚焦光斑的图像采集光路,控制器连接驱动装置和成像设备,其基于聚焦光斑面积与透镜位置关系生成聚焦光斑面积最小值对应的透镜位置。

基本信息
专利标题 :
激光诱导等离子体光谱的脉冲激光自动对焦装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114384011A
申请号 :
CN202111474904.4
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-12-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁欢柯伟杨爱军王小华刘定新荣命哲
申请人 :
西安交通大学
申请人地址 :
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 :
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 :
覃婧婵
优先权 :
CN202111474904.4
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  G01N21/73  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/01
申请日 : 20211203
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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