一种通用型硅产品加工转台结构
公开
摘要
本发明公开了一种通用型硅产品加工转台结构，旨在解决硅产品加工转台通用性差的不足。该发明包括转盘，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，抽真空槽内设置抽气孔，转盘中部设有通气接口，抽气孔均与通气接口连通。这种通用型硅产品加工转台结构能适应多种不同品类硅部件产品的加工，通用性好，有利于缩短产品切换周期，提高经济效益。
基本信息
专利标题 ：
一种通用型硅产品加工转台结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566457A
申请号 ：
CN202111492277.7
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵佑晨叶天爱李长苏
申请人 ：
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
汪利胜
优先权 ：
CN202111492277.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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