本发明公开了一种电子级硫酸生产用智能汽化及能量循环利用方法与装置，将脱酸雾后的气提混合气进入换热器一，对蒸发器出口至换热器一的高纯空气进行换热、升温；将换热器一中升温后的高纯空气经换热器二进行温度补偿，达到设定目标值后的高纯空气进入空气缓冲罐；将原料储罐中的三氧化硫打入蒸发器，空气缓冲罐中的高纯空气经风机输送至蒸发器对液体三氧化硫进行升温、蒸发制备得到电子级硫酸产品。本发明采用高纯空气内循环蒸发三氧化硫，外换热系统综合利用电子级硫酸系统放出热量，不仅节约三氧化硫汽化能耗，而且消除了换热器腐蚀换热介质进入三氧化硫发生安全事故的风险，另通过智能联锁设置实现蒸发系统智能化蒸发，提升系统制程稳定性。