一种高耐蚀性玫瑰金涂层加工制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种高耐蚀性玫瑰金涂层加工制备方法，包括以下步骤：S1、Ti靶的基底材料经超声清洗后，在抽真空的镀膜室内进行加热，200℃保温；S2、本底真空达到0.001Pa时，通入Ar气，使气压达到0.1pa，偏压设定‑400V，弧电流设置100A，阳极电源设置电流100V，清洗2圈；S3、调整Ar气进气量，开启中频镀膜，沉积纯Ti层10分钟；S4、通入N2，调整电流为30A，气压为0.31pa，沉积TiN层40分钟；S5、通入N2、C2H2，调整电流为30A，气压为0.13pa，沉积仿金层TiCN25分钟；S6、关闭N2、C2H2，关闭Ti靶，打开AuCu靶，沉积颜色层AuCu8分钟；S7、关闭偏压电源、中频电源、Ar气、N2和C2H2；S8、将镀好的产品放入ALD设备，沉积三氧化二铝膜。本方法可以加工出高耐蚀性玫瑰金涂层。
基本信息
专利标题 ：
一种高耐蚀性玫瑰金涂层加工制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351141A
申请号 ：
CN202111510948.8
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵明华汪达文汪经纬
申请人 ：
深圳森丰真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明区马田街道马山头社区钟表基地森丰大厦101
代理机构 ：
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王娇娇
优先权 ：
CN202111510948.8
主分类号 ：
C23C28/00
IPC分类号 ：
C23C28/00 C23C14/02 C23C14/06 C23C14/14 C23C14/35 C23C16/40 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C28/00
用不包含在C23C2/00至C23C26/00各大组中单一组的方法，或用包含在C23C小类的方法与C25D小类中方法的组合以获得至少二层叠加层的镀覆
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 28/00
申请日 : 20211211
申请日 : 20211211
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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