可切换真空光学组件及真空光源系统
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一种可切换真空光学组件，其特征在于，包括：真空容纳腔，包括光学输入端和光学输出端，真空容纳腔用于容纳位于光路上的工作光学元件；切换装置，与真空容纳腔真空密封连接，包括：承载装置，用于承载多个光学元件；驱动装置，用于驱动承载装置运动，以切换真空容纳腔内的工作光学元件。
基本信息
专利标题 ：
可切换真空光学组件及真空光源系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114384103A
申请号 ：
CN202111512202.0
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵子淳邹洁鹿建
申请人 ：
费勉仪器科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢
代理机构 ：
上海国瓴律师事务所
代理人 ：
傅耀
优先权 ：
CN202111512202.0
主分类号 ：
G01N23/227
IPC分类号 ：
G01N23/227
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/227
测量光电效应，例如，光电子发射显微镜
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/227
申请日 : 20211208
申请日 : 20211208
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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