一种清洗槽内的旋转机构
公开
摘要

本发明公开了一种清洗槽内的旋转机构,其结构包括清洗槽,清洗槽的内部从左到右被划分为固定槽、洗液槽,洗液槽的内部设有固定框架,固定框架的顶部悬空排列有若干花篮,固定框架的底部设有两个可转动的旋转轴,花篮位于旋转轴的正上方,若干花篮的排列方向和旋转轴的延伸一致,两个旋转轴相互平行且相互之间形成有放置槽,放置槽和花篮的内部相连通,固定槽的内部设有同步驱动两个旋转轴进行转动的驱动件,旋转轴上套设有椭圆轴,椭圆轴的中心和旋转轴的中心重合,旋转轴带动椭圆轴进行转动时,椭圆轴的长轴循环伸入花篮的内部且椭圆轴的短轴始终位于花篮的下方,本发明提高了硅片在的清洗效果。

基本信息
专利标题 :
一种清洗槽内的旋转机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114308961A
申请号 :
CN202111517014.7
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
管选伟孙国浩
申请人 :
江苏英思特半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房(1-2层)
代理机构 :
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何思理
优先权 :
CN202111517014.7
主分类号 :
B08B11/02
IPC分类号 :
B08B11/02  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/02
清洁时抓住物品的装置
法律状态
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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