一种轻量化气浮工作台
公开
摘要

本发明公开的一种轻量化气浮工作台,属于几何量领域。本发明主要由三部分组成,一是摩擦驱动组件,二是基础滑动组件,三是一维滑动工作台。本发明采用气吸附形式实现导向移动,沿大理石导轨方向实现一维运动,通过电机驱动摩擦轮,以摩擦驱动形式实现位移,实现整体工作台的初步定位,配合干涉仪等标准器测量值反馈实现±2μm重复精度;该装置还配置一维运动顶部主工作台,能够满足各种需要微调操作下的±1μm的手动微调精确定位。该装置具有行程大,整体负载低,运行精度高、可手动微调的特点,安装被测量件后能够实现光学器件的高直线度位移。本发明能够直接应用于大尺寸长度标准装置中移动滑台的构成,用于激光跟踪仪、干涉仪、标准钢卷尺等设备的校准。

基本信息
专利标题 :
一种轻量化气浮工作台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114290082A
申请号 :
CN202111521752.9
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
乔磊孙安斌甘晓川高廷曹铁泽王继虎王鲁涛赵子越
申请人 :
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请人地址 :
北京市海淀区温泉镇环山村
代理机构 :
北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王松
优先权 :
CN202111521752.9
主分类号 :
B23Q1/38
IPC分类号 :
B23Q1/38  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件,如仿形装置或控制装置;以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床;不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q1/00
一般构成机床外形所包括的部件,特别是较大的固定部件
B23Q1/25
可移动的或可作调整的工件或工具支承物
B23Q1/26
以与相对可动部件协同操作有关的构造为特征的;防止这些部件作相对运动用的装置
B23Q1/38
采用流体轴承或流体垫的
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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