一种气浮工作台
授权
摘要
本实用新型涉及光学仪器技术领域，特别涉及一种气浮工作台，包括：光学器件；X轴驱动单元；Y轴驱动单元，所述X轴驱动单元与所述Y轴驱动单元连接；Z轴驱动单元，所述Z轴驱动单元连接于所述X轴驱动单元上，所述Z轴驱动单元设有Z轴驱动件，所述Z轴驱动件用于驱动所述光学器件沿垂直于X轴的方向运动。本气浮工作台通过设置有X轴驱动单元以及Y轴驱动单元，使得光学组件可沿X轴方向以及Y轴方向运动；此外，通过在X轴驱动单元上连接有Z轴驱动单元，该Z轴驱动单元设置有Z轴驱动件，Z轴驱动件连接光学器件，继而使光学器件可在Z轴驱动件的驱动下沿垂直于X轴的方向运动，从而实现芯片的立体检测。
基本信息
专利标题 ：
一种气浮工作台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123072876.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216621003U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
杨志刚
申请人 ：
北京辰阳自动化科技有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区新华北街117号33栋320室
代理机构 ：
北京恒程知识产权代理有限公司
代理人 ：
张婷
优先权 ：
CN202123072876.1
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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