本发明涉及一种功率器件的体内阶梯终端结构及制备方法，终端结构包括第一电极、衬底区、外延区、阶梯状终端结构、氧化层和第二电极，第一电极、衬底区和外延区依次层叠；阶梯状终端结构埋设于外延区中且位于终端区中，其端部与有源区相接触，阶梯状终端结构包括相互连通的若干子区域，沿有源区至终端区方向，若干子区域的厚度逐渐减小以在阶梯状终端结构靠近衬底区的一侧形成若干台阶；氧化层位于外延区上且位于阶梯状终端结构的上方；第二电极位于外延区上且位于有源区中，第二电极与氧化层相邻。该终端结构中，阶梯状终端结构在空间上远离器件表面，不易受到表面钝化层内部电荷的影响，降低了器件界面电荷对终端结构耐压特性的影响。