本申请涉及电子化学品制备的技术领域，具体公开了一种化工助剂的安全生产工艺，包括以下步骤：汽化：将液氨进行汽化，得到粗氨气；洗气：将粗氨气通入到洗气装置中进行洗气，得到净氨气；吸收：将净氨气通入到去离子水中，制得超纯氨水。本申请中先将液氨汽化，除去液氨中油、铁以及其它杂质，得到粗氨气；然后将粗氨气通入到洗气装置到进行洗气，除去氨气中的气体杂质，得到净氨气；最后将净氨气溶解在去离子水中，得到超纯氨水，本申请具有提高氨水纯度和生产安全性的效果。