一种高硬度自润滑多层薄膜及制备方法
实质审查的生效
摘要
一种高硬度自润滑多层薄膜，由基体表面向外依次为TiC层、TiCN层为连续过渡层、TiAlN层和CuTiSiC层复合形成的高硬度耐磨层，耐磨层表面覆有Mo/CaF2/BaF2/C复合自润滑层，以及最表面的玻璃涂层，所述玻璃涂层是由玻璃粉与去离子水配制成的料浆旋涂形成，玻璃粉按照重量比重由SiO2、Na2O、CaO和NaSiO3组成。本发明制备的高硬度自润滑多层薄膜在不同的温度环境下具有高硬度、低摩擦因数和极低的磨损率，室温硬度达到45GPa，700℃高温下硬度达到41GPa，700℃下磨损30000周次，摩擦因数为0.14，耐摩稳定性优异，摩擦磨损速率低至3.3×10‑7m3/N.m，体现出了优异的自润滑抗摩擦磨损性能。
基本信息
专利标题 ：
一种高硬度自润滑多层薄膜及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114438459A
申请号 ：
CN202111558886.8
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐照英邓川宁
申请人 ：
重庆文理学院
申请人地址 ：
重庆市永川区红河大道319号
代理机构 ：
重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李靖
优先权 ：
CN202111558886.8
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/06 C23C4/134 C23C4/06 C03C12/00 C03C6/04 C23D5/02 C21D1/18 C23C28/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20211220
申请日 : 20211220
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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