基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米...
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明用化学溶液法制备氧化锡核层纳米片,再结合原子层沉积技术,得到氧化锡/氧化锌核壳结构纳米片,最后采用磁控溅射生长Pt薄膜,实现了MEMS基原位生长。本发明制备方法具有可重复性强,成品率高,制备效率高,可规模化生产等优点。本发明构建的气敏纳米材料应用于气体传感时灵敏度大幅提升,具有高选择性,展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对部分微量气体进行检测,并且对硫化氢气体具有优异的选择性,为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。

基本信息
专利标题 :
基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324496A
申请号 :
CN202111563129.X
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
卢红亮吴雪颜朱立远
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 :
上海正旦专利代理有限公司
代理人 :
王洁平
优先权 :
CN202111563129.X
主分类号 :
G01N27/12
IPC分类号 :
G01N27/12  C23C28/00  C23C16/455  C23C16/40  C23C14/58  C23C14/35  C23C14/18  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻,依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20211220
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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