氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜及其制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜的制备方法，包括：S1：将氧化锌靶材和铝靶材分别安装在磁控溅射仪的不同的磁控溅射靶上，将高纯度的氧气接入磁控溅射仪的进气口，将微加热板放入磁控溅射仪内，关闭磁控溅射仪的腔门和放气阀，关闭流量计；S2：将磁控溅射仪的工作靶材选为氧化锌靶材，将真空室的气压调整至5*10‑3Pa以下，设置微加热板的温度为25℃；S3：打开调压开关，打开进气阀，打开流量计，通入氧气并调节真空室内的气压至0.5Pa‑5Pa，打开射频溅射电源开始在微加热板表面镀氧化锌薄膜；S4：镀氧化锌薄膜结束后，再在氧化锌薄膜表面镀氧化铝薄膜；镀氧化铝薄膜结束后，得到氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜。利用本发明，能够提高气敏薄膜的灵敏度和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
氧化铝修饰的氧化锌气敏薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114622172A
申请号 ：
CN202111148326.5
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈晓晶张振周李兵张清贺耀宜张海庆杨华颜培宇郝叶军
申请人 ：
天地（常州）自动化股份有限公司;中煤科工集团常州研究院有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区黄河西路219号
代理机构 ：
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱丽莎
优先权 ：
CN202111148326.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/08 C23C14/54 G01N27/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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