制备氧化铁烟敏薄膜的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种气敏传感技术领域，特别是一种制备氧化铁烟敏薄膜的方法。该方法采用金属有机化合物五羰基铁[Fe(CO)]5作为反应源物质，采用常压化学气相淀积法进行淀积，分别制备出掺杂和非掺杂氧化铁烟敏薄膜。该薄膜在烟雾I级的浓度下，灵敏度可达52，而在1000ppm的酒精、液化石油气，甲烷气体和氢气的灵敏度仅为7.4、2.7、2.7和4.0，其灵敏度高，选择性好，响应恢复时间快等特点均优于已商品化的离子敏感烟探测器和烧结型气敏元件，具有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
制备氧化铁烟敏薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1062790A
申请号 ：
CN90110100.1
公开（公告）日 ：
1992-07-15
申请日 ：
1990-12-22
授权号 ：
CN1025074C
授权日 ：
1994-06-15
发明人 ：
彭军柴常春严北京
申请人 ：
西安电子科技大学
申请人地址 ：
710071陕西省西安市太白路2号
代理机构 ：
陕西省发明专利服务中心
代理人 ：
王品华
优先权 ：
CN90110100.1
主分类号 ：
G01N27/414
IPC分类号 ：
G01N27/414
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量；用电解或电泳法
G01N27/403
电池和电极组件
G01N27/414
对离子敏感的场效应晶体管或化学场效应晶体管，即ISFETS或CHEMFETS
法律状态
1997-02-05 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-06-15 ：
授权
1992-07-15 ：
公开
1991-07-03 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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