制备氧化铁酒敏薄膜的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及敏感技术领域，特别是一种制备酒敏薄膜的方法。该方法是用等离子增强型化学气相淀积法制备氧化铁酒敏薄膜，其关键是参加化学气相淀积反应的源物质采用了金属有机化合物五羰基铁[Fe(CO5]。用此方法制备的氧化铁酒敏薄膜，在1000ppm浓度下的乙醇气体中，灵敏度可达50，而在同样浓度的城市煤气，氢气和液化石油气等杂气气氛下，其灵敏度分别仅有1.4，2.9和6，而且对于酒精的最低检测浓度可达到1ppm以下。具有灵敏度高，选择性好，响应恢复时间快等优点。
基本信息
专利标题 ：
制备氧化铁酒敏薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1062976A
申请号 ：
CN90110381.0
公开（公告）日 ：
1992-07-22
申请日 ：
1990-12-30
授权号 ：
CN1024948C
授权日 ：
1994-06-08
发明人 ：
彭军严北平柴常春
申请人 ：
西安电子科技大学
申请人地址 ：
710071陕西省西安市太白路2号
代理机构 ：
陕西省发明专利服务中心
代理人 ：
王品华
优先权 ：
CN90110381.0
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
1997-02-12 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-06-08 ：
授权
1992-07-22 ：
公开
1991-07-03 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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