扩散方阻的智能调控方法、系统、设备及可读存储介质
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种扩散方阻的智能调控方法，包括：根据预设的工艺参数运行太阳能电池扩散工艺，工艺参数包括扩散温度信息、扩散时间信息及气体流量信息；检测经太阳能电池扩散工艺扩散处理后的目标硅片的当前方阻信息；判断当前方阻信息是否在预设的方阻规格范围内；判断为是时，保持工艺参数，并根据工艺参数继续运行太阳能电池扩散工艺；判断为否时，根据当前方阻信息、预设的目标方阻信息及理论模拟模型更新工艺参数，并根据新的工艺参数运行太阳能电池扩散工艺。本发明还公开了一种扩散方阻的智能调控系统、一种计算机设备及一种计算机可读存储介质。采用本发明，可实现工艺参数的自动调节，灵活性强，准确性高。
基本信息
专利标题 ：
扩散方阻的智能调控方法、系统、设备及可读存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512571A
申请号 ：
CN202111564196.3
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
晋亚铭陈刚
申请人 ：
浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
曹万菊
优先权 ：
CN202111564196.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67 G06F30/20 G06F119/08 G06F119/12 G06F111/10 G06F111/04
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20211220
申请日 : 20211220
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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