本发明公开了一种过氧化氢低温等离子灭菌器，包括机架，机架上安装有灭菌舱、控制系统和真空泵，机架外周安装有多个侧板，灭菌舱上安装有舱门，机架前方安装的侧板底部设有安装腔，安装腔内设置有脚踏装置，舱门上安装有电动推杆，脚踏装置与电动推杆电连接；灭菌舱的上方安装有第一检测装置，灭菌舱的下方安装有第二检测装置，第一检测装置和第二检测装置用于检测舱门的位置；脚踏装置、电动推杆、第一检测装置和第二检测装置均与控制系统电连接，脚踏装置、电动推杆、第一检测装置、第二检测装置和控制系统联动配合控制舱门打开或关闭灭菌舱；安装腔内还设置有防误触组件，防误触组件能够对脚踏装置进行限位。