本发明涉及一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构，第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件之间。本发明提供的机械式非接触式双工位夹具，代替人工作业，有效解决了工人被烫伤的问题；避免接触晶圆正面的同时，也避免了由于吸盘与晶圆没有直接接触，造成的没有足够的摩擦力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。