一种利用振动辅助针尖轨迹运动加工纳米周期结构的方法，属于微纳机械加工技术领域。本发明解决了在采用纳米压头轨迹运动加工纳米周期结构的过程中，材料加工成形质量不高所导致的结构形状精度低的问题，所述方法为：通过控制两路输入正弦信号的幅值，频率和相位，设置实现不同加工轨迹；在纳米压头竖直轨迹运动加工的基础上，采用两轴压电陶瓷剪切叠堆为加工提供辅助振动场；通过选用不同型号的纳米压头获得不同形状的针尖刀具，设置不同的针尖朝向实现对不同空间位置以及周期分布方向纳米周期结构的加工。本发明可制备具有高质量纳米周期结构的功能表面，通过调节加工参数可实现金属表面复杂图案结构着色，在光学防伪等领域有极大的应用前景。