本发明涉及微纳器件制备技术领域，特别涉及一种微透镜阵列的制备方法、微透镜阵列、系统及设备。所述方法包括：获取柔性衬底；对所述柔性衬底进行预处理；在预处理后的所述柔性衬底上设置微透镜打印材料；将所述微透镜材料按照预设微透镜结构在所述柔性衬底上进行增材打印，得到柔性微透镜阵列。该微透镜阵列的制备方法，使用增材制造的方法实现了微透镜阵列在柔性基底上的大面阵制造。所得到的微透镜阵列具有低像差、高透光、结构稳定性好的特点。此外，对柔性衬底进行预处理，使柔性衬底具备良好的定型能力与贴敷性，利于实现柱面弯曲或球面弯曲，方便微透镜阵列的广角成像。