一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法
公开
摘要
本发明属于纳米加工技术领域，涉及一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法，先将粉末状的吸水树脂材料均匀铺在所需基底上，形成稳定的吸水膨胀薄层；再在吸水膨胀薄层表面采用离子溅射技术制备金属纳米薄膜；然后在金属纳米薄膜表面滴加去离子水，实现金属纳米狭缝的大面积并行制备；采用并行加工方式，利用下层树脂材料的吸水膨胀作为驱动力，在上层金属薄膜中制备大面积金属纳米狭缝，整个并行加工过程简单高效、成本低廉、绿色环保、应用前景广阔。
基本信息
专利标题 ：
一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114293161A
申请号 ：
CN202111591091.7
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王雷王霞代美芹
申请人 ：
青岛科技大学
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路99号
代理机构 ：
青岛高晓专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄晓敏
优先权 ：
CN202111591091.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/18 C23C14/02 C23C14/16 C23C14/20 C23C14/30 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
