本发明提供一种半导体外延设备及调节其基座与预热环同轴度的方法，其中，半导体外延设备包括同轴度调节系统，用于调节基座与预热环之间的同轴度，同轴度调节系统包括：测距装置，用于检测基座的边缘上多个预设位置与预热环之间在预热环的径向方向上的实际间隙，多个预设位置沿基座的周向方向间隔分布；调节机构，用于调节基座在预热环的多个径向方向上的位置，多个径向方向与多个预设位置一一对应；控制器，用于获取基座与预热环之间的目标间隙，并根据目标间隙与各预设位置对应的实际间隙的差值，控制调节机构调节基座在相应的径向方向上的位置，以使基座与预热环的同轴度符合要求，实现自动检测和自动调节，精度和效率较高。