本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法。读数头安装工装包括基板、若干平面光栅和微调组件；基板用于安装到工件台的读数头安装盘上，微调组件安装于基板，平面光栅安装于微调组件，微调组件至少用于调节平面光栅相对基板的位姿，平面光栅与读数头安装盘上的读数头一一对应。读数头安装工装的集成方法，用于实现上述读数头安装工装的集成装配。读数头安装方法，应用上述读数头安装工装实现读数头的精准安装。本发明提供的读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法，可提高读数头的安装精度及安装一致性，从而，保证了对双工件台、调平调焦、硅片对准等分系统的定位精度。