本发明提供的多路半导体激光空间调制相干合束装置，包括M组第一反射镜组、M组第一N×1准直镜阵列、M组并联设置的相位调制组件、第二反射镜组、第二M×1准直镜阵列、末端相位调制组件，入射光经过反射进入第一N×1准直镜阵列，经过准直后的入射光经过第一带孔球面镜进入第一空腔，入射光在第一空腔内进行多次反射，利用第一掩膜图案对入射光进行相位调制后形成输出光并输出至第二反射镜组，经由反射后输出光进入第二M×1准直镜阵列准直，经过准直的输出光进入末端相位调制组件进行相位调制和合束后获得基模光。通过借助反射相位板对入射光进行相位调制，能够大幅度降低调制合束时的光损耗，实现高效的半导体激光空间调制合束。