一种压电促动模块及压电摆台
实质审查的生效
摘要

本发明提供了压电促动模块及压电摆台,压电促动模块包括第一驱动机构和第二驱动机构,第一驱动机构包括第一压电单元和第一柔性铰链,第一压电单元和第一柔性铰链连接,以驱动第一柔性铰链沿第一方向伸缩,第二驱动机构包括第二压电单元和第二柔性铰链,第二柔性铰链与第一柔性铰链连接,第二压电单元和第二柔性铰链连接,以驱动第二柔性铰链和第一驱动机构均沿与第一方向垂直的第二方向伸缩,第一柔性铰链被配置为在沿第一方向和/或第二方向伸缩时接触并促使被驱动对象运动。在本发明中,压电促动模块可使被驱动对象进行两个方向的直线运动或转动,可提高压电摆台的转动速度和可重复性,避免出现粘滑运动,抑制了颗粒,提高压电摆台的使用寿命。

基本信息
专利标题 :
一种压电促动模块及压电摆台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114337361A
申请号 :
CN202111598985.9
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
缪晖华
申请人 :
上海精测半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
代理机构 :
苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
储振
优先权 :
CN202111598985.9
主分类号 :
H02N2/04
IPC分类号 :
H02N2/04  H02N2/12  G02B21/26  
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 2/04
申请日 : 20211224
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332