MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法，包括如下步骤：将MEMS探针放置在真空纳米涂层设备的沉积室；将纳米原材料放入真空纳米涂层设备的蒸发室；纳米原材料在蒸发室内蒸发为气态分子并进入裂解室；气态分子在裂解室内裂解为反应活性的单体，反应活性的单体在沉积室聚合并在MEMS探针表面形成纳米镀膜；将镀膜的MEMS探针取出并整列在排列治具上；将整列好MEMS探针的治具放置到激光加工平台，利用激光将探针针头和针尾的绝缘涂层剥离。本发明在MEMS探针的中间区域生长纳米绝缘涂层，可以有效防止相邻探针接触短路的风险；通过派瑞林母粒利用真空气相趁机制备聚对二甲苯绝缘涂层，可以耐受1000V以上的高压。
基本信息
专利标题 ：
MEMS探针表层绝缘涂层的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114262558A
申请号 ：
CN202111601406.1
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
殷岚勇施元军刘凯
申请人 ：
苏州晶晟微纳半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦江浦路82号3号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111601406.1
主分类号 ：
C09D165/04
IPC分类号 ：
C09D165/04 C09D5/20 C09D5/25
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D
涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K3/10；用于防止泄漏的材料入C09K3/12；电解或电泳生成镀层的方
C09D165/00
基于由主链中形成碳-碳键的反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D165/04
聚苯二亚甲苯
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09D 165/04
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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