本发明提出了一种集成微肋通道的电驱自循环柔性散热装置及其制造方法，属于柔性电子散热领域。解决了高度空间适应性要求下，高热流密度元件的热流体泵送与散热问题，提出一种集成微肋通道的电驱自循环柔性散热装置及其制造方法，设计多层的交叉式微肋片散热膜，并在微肋片结构上设置指叉式柔性电极，将热流体充入封装层和散热膜以及间隔层之间形成的流体通道，采用主被动相结合的方式增强热扰动，通过调节直流电源，改变施加在通道中热流体上的电压，进而改变装置对热流体的热扰动，在实现空间高度集成性和流体电驱自循环的同时，满足目标热流体的自驱动及散热需求。