本公开提供了一种超声辅助去除金刚石应力的装置，包括石英管、超声发生装置、加热线圈、盖体、进气管、出气管、惰性气体源以及机械泵。石英管用于收容导体材质的与加热线圈形成电磁感应加热的物料舟，物料舟用于盛放金刚石；超声发生装置的超声出口对准石英管的内腔和物料舟；感应加热线圈围绕石英管设置在石英管的外周，盖体在石英管的上端；进气管和出气管密封穿过盖体并连通石英管的内腔。压力计设置在盖体的进气管和出气管之间的中心区域。本申请利用超声辅助去除金刚石应力的装置，将热处理与超声处理相结合，对金刚石进行处理，利用热能与超声波冲击振动为位错运动及增值提供外部动力，可较好的将金刚石内部的应力去除，减少破损率。