快速退火炉加热系统以及温度控制方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种快速退火炉加热系统以及温度控制方法。该加热系统包括载体、沿第一方向设置的主加热器、沿第一方向设置的第一辅助加热器以及沿第二方向设置的第二辅助加热器,主加热器设置有多个,多个主加热器沿第二方向间隔连接在载体的反射面上;第一辅助加热器设置有两组,两组第一辅助加热器均连接在载体的反射面上,且,两组第一辅助加热器分别设置在多个主加热器的第二方向的两侧,第二辅助加热器设置有两组,两组第二辅助加热器均连接在载体的反射面上,两组第二辅助加热器相对设置在多个主加热器和载体的反射面之间,第一方向和第二方向相垂。本申请可保证加热件的加热均匀,使加热件的温性均匀,提高产品质量。
基本信息
专利标题 :
快速退火炉加热系统以及温度控制方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485170A
申请号 :
CN202111620969.5
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘二强孙文彬林政勋戴建波
申请人 :
江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
代理机构 :
北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人 :
安磊
优先权 :
CN202111620969.5
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00 F27D19/00 H01L21/324
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27B 17/00
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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