基于双面雕刻激光诱导石墨烯的柔性压力传感器
实质审查的生效
摘要
本发明属于压力传感器领域，涉及基于双面雕刻激光诱导石墨烯的柔性压力传感器，本发明以激光雕刻石墨烯的技术为基础，在同一材料两侧表面形成石墨烯，使中间残留部分成为介电层，再进行封装等操作制备了柔性激光诱导石墨烯压力传感器。此方法在降低成本的同时也缩短了制备周期，并且通过调控激光加工参数使电极‑介电层‑电极在同一基底材料上成型，达到特定比例使器件性能较优，能够响应10Pa～16kPa范围内压强。在保证了灵敏度、稳定性以及工作范围的同时，简化了复杂的单独制备过程，是比较优秀的选择。
基本信息
专利标题 ：
基于双面雕刻激光诱导石墨烯的柔性压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114323360A
申请号 ：
CN202111625820.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张航与赵天聪朱慧超吕军刘波俞克会
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
辽宁省大连市甘井子区凌工路２号
代理机构 ：
辽宁鸿文知识产权代理有限公司
代理人 ：
隋秀文
优先权 ：
CN202111625820.6
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14 G01L9/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/14
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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