本发明实施例公开了一种抛光垫刷洗装置及操作方法、最终抛光设备；所述抛光垫刷洗装置包括：用于刷洗抛光垫的毛刷，所述毛刷上设置有刷毛；用于容纳所述毛刷的刷槽，所述刷槽的底板上固定地设置有刷盘；其中，所述刷盘通过与所述刷毛之间的相对运动以打开所述刷毛，以暴露出所述刷毛缝隙的杂质颗粒；设置在所述底板上的清洗液供给单元，所述清洗液供给单元包括清洗液喷嘴和进水孔；所述清洗液喷嘴和所述进水孔被构造成向所述刷槽中供给清洗液以清洗所述刷毛，从而使得所述刷毛缝隙的杂质颗粒被清除。