一种半导体焊线机的闭环位置补偿方法及系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种半导体焊线机的闭环位置补偿方法及系统,所述方法应用于半导体焊线机的闭位移补偿系统,所述系统包括焊头组件、视觉组件以及上位机处理器,其中,所述方法包括:获取所述焊头组件的第一温度和位置信息,以及所述视觉组件的第二温度和位置信息;根据所述第一温度和位置信息以及所述第二温度和位置信息,得到所述焊头组件的第一位置变化数据和所述视觉组件的第二位置变化数据;通过所述上位机处理器对所述第一位置变化数据和所述第二位置变化数据进行处理,得到待补偿数据信息。本发明通过焊头组件与视觉组件的设置方式,采用闭环控制方法检测位置变化,从而可实时补偿来保证焊接的准确性,实现提高补偿效率与补偿准确性的目的。

基本信息
专利标题 :
一种半导体焊线机的闭环位置补偿方法及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114388418A
申请号 :
CN202111632654.2
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
乔恒涛李焕然
申请人 :
凌波微步半导体设备(常熟)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市常熟市东南街道香江路60号6幢
代理机构 :
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
谢松
优先权 :
CN202111632654.2
主分类号 :
H01L21/68
IPC分类号 :
H01L21/68  H01L21/67  H01L21/60  G06T1/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20211228
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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