MEMS微镜的闭环位置控制
公开
摘要
本文公开了一种用于投影系统的控制系统，包括第一减法器，第一减法器接收输入驱动信号和反馈信号、并从中生成第一差信号，反馈信号指示投影系统的准静态微镜的位置。2型补偿器接收第一差信号并从中生成第一输出信号。基于导数的控制器接收反馈信号并从中生成第二输出信号。第二减法器接收第一和第二输出信号，并从中生成第二差信号。第二差信号用于控制投影系统的反射镜驱动器。高阶谐振均衡电路从接收来自投影系统前端接收指示准静态微镜位置的预输出信号，投影系统前端信号指示准静态的位置以及、并从中生成反馈信号。
基本信息
专利标题 ：
MEMS微镜的闭环位置控制
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114578546A
申请号 ：
CN202111453537.X
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
P·弗里杰里奥G·兰格弗尔德L·莫利纳里G·马约基A·巴拜利
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
闫昊
优先权 ：
CN202111453537.X
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G02B26/10 G03B21/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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