用于控制微镜阵列的系统和方法
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摘要
提供了用于操作微镜组件阵列的系统和方法。在一个示例中，一种设备包括：光源；接收器；以及包括微机电系统(MEMS)和控制器的半导体集成电路，MEMS包括微镜组件阵列，每个微镜组件包括：微镜通过弹性连接结构连接到半导体集成电路的基板，并可围绕连接结构旋转以执行以下至少一项操作：沿输出投射路径反射来自光源的光，或反射沿输入路径传播到接收器的输入光；控制器被配置为生成控制信号，以基于微镜组件阵列中一个或以上连接结构的目标旋转角度和弹簧刚度来旋转微镜。
基本信息
专利标题 ：
用于控制微镜阵列的系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111837066A
申请号 ：
CN201880087804.6
公开（公告）日 ：
2020-10-27
申请日 ：
2018-12-11
授权号 ：
CN111837066B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
王佑民周勤
申请人 ：
北京航迹科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区东北旺西路8号院34号楼二层218号
代理机构 ：
成都七星天知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨永梅
优先权 ：
CN201880087804.6
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B26/08 G01S17/931 G01S7/481 G05D1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-11-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/10
申请日 : 20181211
申请日 : 20181211
2020-10-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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