用于用体积样本来制备微样本的方法和显微镜系统
公开
摘要
本发明涉及一种用体积样本来制备微样本的方法。该方法包括以下步骤：a)将体积样本提供到显微镜系统中，其中，该体积样本的内部具有样本兴趣区域(ROI)；b)通过用第一粒子束来去除体积样本的样本材料从而露出第一截面表面和第二截面表面，来产生包括该样本兴趣区域的大薄片；其中，第一截面表面和第二截面表面彼此相反布置，并且这两个截面表面彼此间隔开，使得该兴趣区域位于这些截面表面之间；c)将大薄片相对于粒子束之一以一种方式定向，使得该粒子束和在上一个步骤中产生的第一截面表面相对于彼此成角度β，其中，该角度β在10°至90°范围内取值；d)通过与第一截面表面成角度β的粒子束来去除大薄片的样本材料，以露出ROI。
基本信息
专利标题 ：
用于用体积样本来制备微样本的方法和显微镜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114509326A
申请号 ：
CN202111352817.1
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-11-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
F.佩雷斯威拉德T.沃尔克南特
申请人 ：
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 ：
德国耶拿
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202111352817.1
主分类号 ：
G01N1/32
IPC分类号 ：
G01N1/32 G01N23/20008 G01N23/2202
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
G01N1/32
抛光；腐蚀
法律状态
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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