本发明公开了一种磁场与机械振动结合的硅纳米结构制备方法，通过振动硅片，使预先沉积在硅片上的导磁性膜析出导磁性金属粒子，通过向三个漆包线绕线组产生三个磁场，使导磁性金属粒子沿磁场的磁力线排布，并在持续振动作用下沿硅片表面磁力线指向与硅片表面发生撞击，使团聚在导磁性金属粒子周围的腐蚀液中的酸随导磁性金属粒子撞击硅片表面，与硅片反应；在振动与磁场结合作用下，导磁性金属粒子不断重复与硅片表面撞击，并不断回到磁力线位置进行排布，逐渐完成硅片表面的微纳米结构制备。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同磁场分布，使导磁性金属粒子能带动腐蚀液中的酸在硅片上刻蚀出不同的预设图案。