一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法,该装置包括双面微柱面透镜阵列(101),第一小球(102),第二小球(103),绕Z轴的旋转台(105),沿X轴和Y轴的二维平移台(104),Z轴方向高度接触测量设备(106)和计算机(107)。第一小球(102),第二小球(103)为两个相同的小球,通过两个小球的定位和对测试数据的拟合处理,实现精确调整双面微柱面透镜阵列与运动轴的关系。通过对上下柱面轮廓数据的测试和数据处理,计算出两个柱面的母线方向,进而实现对双面微柱面透镜阵列垂直度的精确检测。

基本信息
专利标题 :
一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114279303A
申请号 :
CN202111632964.4
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
徐富超廖志杰林妩媚胡廷晖
申请人 :
中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请人地址 :
四川省成都市双流350信箱
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
金怡
优先权 :
CN202111632964.4
主分类号 :
G01B5/245
IPC分类号 :
G01B5/245  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/245
••用于检测垂直度
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/245
申请日 : 20211228
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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