本申请公开了一种超声波电源设备及其控制方法，该设备包括：输入保护整流单元、逆变单元、输出匹配单元、驱动单元、采样单元和控制器单元；所述输入保护整流单元的输出端连接所述逆变单元，所述逆变单元的输出端连接所述输出匹配单元，所述控制器单元通过所述驱动单元连接至所述逆变单元，所述控制器单元还通过所述采样单元连接至所述输出匹配单元。该设备的结构简单紧凑，接线需求较少，体积较小，对硬件的依赖性很低，功能实现基本完全由程序控制，灵活性和开放性大大增强，可根据实际使用情况需求进行控制编程，以满足不同的负载和加工要求。本申请可广泛应用于超声波产品技术领域内。