特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端
实质审查的生效
摘要
一种特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、方法包括：获取待测量版图中的待测量位置点，并基于待测量位置点的位置确定多个起始位置点；计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点；以第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点；以第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点；基于第一目标位置点的特征尺寸和第二目标位置点的特征尺寸计算待测量版图的偏移误差。通过本发明技术方案能够提升偏移误差计算的效率。
基本信息
专利标题 ：
特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114440775A
申请号 ：
CN202111643956.X
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
全芯智造技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张英英
优先权 ：
CN202111643956.X
主分类号 ：
G01B11/03
IPC分类号 ：
G01B11/03
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/03
通过测量各点的坐标
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/03
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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