一种新型的真空密封门板结构
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种新型的真空密封门板结构,包括反应腔与传输腔,所述传输腔的底部安装有安装底座,所述安装底座的底部定位连接有基座,所述基座的前端定位安装有驱动装置,所述反应腔的前端开设有一号密封槽、二号密封槽与腔口,所述传输腔位于反应腔的前端位置,所述腔口的中部开设有封口,所述传输腔内侧靠近封口的位置安装有固定门板,所述传输腔的底部开设有槽体,所述驱动装置上端设置有驱动缸。本发明所述的一种新型的真空密封门板结构,由驱动装置控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封,不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑,此外,维修组装方便,易于保养维护密封圈及其它零部件。

基本信息
专利标题 :
一种新型的真空密封门板结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114352171A
申请号 :
CN202111646020.2
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李洋
申请人 :
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区方泾路10号裕大盛博科技园B栋301室
代理机构 :
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 :
夏祖祥
优先权 :
CN202111646020.2
主分类号 :
E06B5/00
IPC分类号 :
E06B5/00  E06B3/44  E06B7/16  E05F15/57  E05F15/60  
IPC结构图谱
E
E部——固定建筑物
E06
一般门、窗、百叶窗或卷辊遮帘;梯子
E06B
在建筑物、车辆、围栏或类似围绕物的开口处用的固定式或移动式闭合装置,例如,门、窗、遮帘、栅门
E06B5/00
特殊用途的门、窗或类似闭合物;其周边结构
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : E06B 5/00
申请日 : 20211230
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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