一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备，其中所述上部穿腔具有沿着所述上部穿腔的顶端面向下凹陷形成的上部凹腔，上部管路贯穿上部凹腔并伸入上部穿腔的内腔，上部管路位于上部凹腔内的部分与上部凹腔的侧壁之间具有间隙。本发明通过改变上部穿腔和下部穿腔的结构，从而来削弱上部管路与上盖板之间以及下部管路与固定件之间的热传递，同时增大了加热源，如此便防止了气体冷凝，防止了晶圆报废，从而避免了更换气体管路，节省了人力、财力，同时提高了机组设备的作业效率。
基本信息
专利标题 ：
一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114321546A
申请号 ：
CN202111646403.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张建谈太德褚鑫辉刘婧婧李景舒赵婷婷
申请人 ：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区水家900号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘颖
优先权 ：
CN202111646403.X
主分类号 ：
F16L53/30
IPC分类号 ：
F16L53/30 F16L59/02 F16L23/032
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16L 53/30
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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